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手套箱蒸鍍一體機(jī)工作原理:
本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
設(shè)備其他應(yīng)用場景:
主要用于鈣鈦礦太陽能電池、OLED、和PLED、半導(dǎo)體制備等試驗(yàn)研究與應(yīng)用。
產(chǎn)品主要特點(diǎn):
蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。